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PPR系列過(guò)程檢測(cè)系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:PPR系列過(guò)程檢測(cè)系統(tǒng)是過(guò)程監(jiān)測(cè)和診斷的真空檢測(cè)儀。兩種不同的進(jìn)氣路徑提供給殘余氣體分析儀(RGA):一路高壓進(jìn)氣模式用來(lái)檢測(cè)基本真空,一路分壓模式用來(lái)檢測(cè)過(guò)程壓力。壓力減少路徑包含一個(gè)微小孔徑,其目的是使運(yùn)行壓力工作在0.01,0.1,1或10Torr。 它使待測(cè)壓力環(huán)境滿足RGA的工作要求約10-6 Torr。 這種壓力控制系統(tǒng)是由渦輪分子的混合泵和隔膜甭組成。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2025-03-20
  • 訪  問(wèn)  量: 1096

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,化工,生物產(chǎn)業(yè),能源,綜合

 PPR系列過(guò)程檢測(cè)系統(tǒng)是過(guò)程監(jiān)測(cè)和診斷的真空檢測(cè)儀。兩種不同的進(jìn)氣路徑提供給殘余氣體分析儀(RGA):一路高壓進(jìn)氣模式用來(lái)檢測(cè)基本真空,一路分壓模式用來(lái)檢測(cè)過(guò)程壓力。壓力減少路徑包含一個(gè)微小孔徑,其目的是使運(yùn)行壓力工作在0.01,0.1,1或10Torr。 它使待測(cè)壓力環(huán)境滿足RGA的工作要求約10-6 Torr。 這種壓力控制系統(tǒng)是由渦輪分子的混合泵和隔膜甭組成。 兩臺(tái)泵為無(wú)油工作,不會(huì)污染您的操作系統(tǒng)。
PPR進(jìn)氣接口鏈接到被檢測(cè)的過(guò)程檢測(cè)系統(tǒng)有幾種方法。 該系統(tǒng)包括RGA,旁通閥和三通,控制器,渦輪泵,隔膜泵,和Windows 軟件程序進(jìn)行數(shù)據(jù)采集和控制。
該軟件可用于多種模式,包括模擬掃描,直方圖模式,壓力與時(shí)間模式。雙路法拉第杯和電子倍增器檢測(cè)器,電子倍增器提供更高的靈敏度和較高的掃描速度。PPR系統(tǒng)出廠時(shí)組裝*全
和校準(zhǔn),可便捷的連接到真空系統(tǒng)中。
主要應(yīng)用:真空在線檢測(cè);高真空成份分析;MOCVD 等在線過(guò)程監(jiān)控;10mTorr-10Torr 真空度內(nèi)反應(yīng)過(guò)程檢測(cè)等等

主要性能

  • 0.01, 0.1, 1.0 或 10 Torr進(jìn)口壓力

  • 3 × 10-5 Torr-L/s流量

  • 2秒的響應(yīng)時(shí)間(0.1Torr)

  • 100、200或300amu系統(tǒng)

  • 現(xiàn)場(chǎng)可替換的電子培增管和燈絲

  • 6個(gè)數(shù)量級(jí)動(dòng)態(tài)范圍

 PPR系列過(guò)程檢測(cè)系統(tǒng)

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